Diagnose und Ermittlung von Fehlfunktionen in mikromechanischen Systemen (MEMS) und bei Bedarf Entfernung, Ersetzung oder Reparatur schadhafter Bauteile. Durchführung vorbeugender Wartungsmaßnahmen, z. B. Lagerung der Komponenten in sauberen, staubfreien und trockenen Räumen.