lithographie par faisceau électronique

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Désignations

français
  • lithographie par faisceau électronique (correct,feminine noun)
  • synonyme : lithographie par faisceau d'électrons (correct,feminine noun)
  • synonyme : électromasquage (masculine noun)
  • synonyme : masquage électronique (masculine noun)
  • synonyme : masquage par faisceau d'électrons (masculine noun)
anglais
  • electron-beam lithography (correct)
  • synonyme : e-beam lithography
  • synonyme : electronic lithography
  • EBL abrév.
espagnol
  • litografía por haz de electrones (correct,feminine noun)

    CONT: La técnica consiste en cubrir la oblea sobre la que se quiere trabajar con una película sensible a los electrones. Mediante una fuente de electrones se ""dibuja"" sobre la película la plantilla que se pretende crear. La zona bombardeada con electrones sufre ciertos cambios estructurales. Posteriormente se somete el conjunto a la acción de una solución líquida que o bien disolverá la película protectora sólo en la zona expuesta a los electrones (litografía positiva) o bien la no expuesta (litografía negativa), dejando al descubierto la oblea sólo en las zonas que nos interesan para su posterior procesado.

  • synonyme : electrolitografía (correct,feminine noun)
  • EBL abrév. (correct,feminine noun)

Codes : pays ou zone où la désignation a cours (CH, FR, DE, EU = Union européenne, INT = usage international). Une désignation barrée est déconseillée.

Définitions

français
Ensemble de procédés utilisant un faisceau d'électrons qui agit sur des résines électrosensibles pour dessiner les motifs d'un circuit sur des masques ou par écriture directe.
anglais
Lithography in which the radiation-sensitive film or resist is placed in the vacuum chamber of a scanning beam electron microscope and exposed by an electron beam under digital computer control. After exposure, the film undergoes conventional development and other production processes.
espagnol
[…] técnica especializada para crear plantillas extremadamente finas, fundamentales para la fabricación de los modernos circuitos electrónicos.

Classement

Collections

Domaines

  • Lithographie, offset et phototypie

API

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Données : TERMIUM Plus, Bureau de la traduction, gouvernement du Canada. Licence du gouvernement ouvert – Canada.

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