chute de température par paliers

CONT: Épitaxie en phase liquide [...] La cristallisation sur la surface du substrat en contact avec le liquide est essentiellement contrôlée par les échanges de matière, à l'interface substrat-solution. Elle s'effectue lorsqu'on abaisse la température correspondant à l'équilibre thermochimique avec le substrat. [...] La chute de température peut être linéaire (uniform cooling) [...] ou par paliers (step cooling).

CONT: The process ... wherein the step of forming the compound semiconductor by liquid phase epitaxy includes step cooling to achieve a high degree of supersaturation.