pulvérisation cathodique réactive

Désignations

Codes : pays ou zone où la désignation a cours (CH, FR, DE, EU = Union européenne, INT = usage international). Une désignation barrée est déconseillée.

Définitions

français

Technique de pulvérisation dans laquelle, afin de modifier les propriétés de la couche déposée, on introduit dans l'enceinte du réacteur un gaz réactif, tel que l'azote ou l'oxygène, qui entre en réaction avec le corps soumis à la pulvérisation.

anglais

The sputter deposition process in which species sputtered off the target material are chemically reacting with other species in the gas mixture to form a compound to be deposited; e.g. sputtering of Si in plasma containing oxygen will result in deposition of SiO[subscript 2].