gravure anisotrope

CONT: Une caractéristique de la gravure anisotrope est qu'elle est fortement liée à la structure cristallographique du substrat.

CONT: Isotropic etching is an etching method which removes part of the substrate non-directionally ... resulting in round corners. On the contrary, anisotropic etching means each crystallographic orientation has [a] different etching rate, so the corners are sharp ...

CONT: El grabado anisotrópico es favorecido por la componente física, más que por la química del proceso, esto se debe a que es posible dirigir verticalmente partículas altamente energéticas hacia la superficie del sustrato, colisionando con ella para realizar grabado direccional.