réacteur à paroi chaude

· fiche TERMIUM Plus

Désignations

français
  • réacteur à paroi chaude (correct,masculine noun)
anglais
  • hot wall reactor (correct)

    OBS: A cold wall reactor is a reactor in which the wafers are heated by some other means and so the walls of the reactor do not get as hot as the wafers.

Codes : pays ou zone où la désignation a cours (CH, FR, DE, EU = Union européenne, INT = usage international). Une désignation barrée est déconseillée.

Définitions

français
Réacteur, normalement de dépôt chimique en phase vapeur, dans lequel les plaquettes de semiconducteurs sont portées à haute température par la chaleur radiante des parois du réacteur.
anglais
A machine (usually a CVD machine) in which the wafers are made hot because the walls of the reactor are hot.

Classement

Collections

Domaines

  • Physique des solides

API

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  "https://opendata.altius-group.ch/language/terminology/api/v1/concepts/termium-114da825a3e63f2a/"

Données : TERMIUM Plus, Bureau de la traduction, gouvernement du Canada. Licence du gouvernement ouvert – Canada.

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