tube épitaxial

Désignations

Codes : pays ou zone où la désignation a cours (CH, FR, DE, EU = Union européenne, INT = usage international). Une désignation barrée est déconseillée.

Définitions

anglais

That part of a horizontal epitaxial reactor that covers the susceptor holding wafers about to undergo the epitaxial process. During this process, gas flows across the top of the quartz epitaxial tube, as in an oxidation furnace. (See Epitaxial Reactors).