technique VHF-GD

CONT: [Cellules au silicium amorphe et ses dérivés] par la technique VHF-GD (Very High Frequency Glow Discharge : décharge de type PECVD, mais à plus haute fréquence, 70 MHz), [...] les dépôts sont plus rapides, ce qui peut donner en laboratoire des cellules microcristallines de quelques microns d'épaisseur.

CONT: The microstructure of a series of silicon films deposited by very high frequency glow discharge (VHF-GD) with silane concentration in hydrogen varying from 100% down to 1.25% has been observed with transmission electron microscopy (TEM).