Das Zusammenbauen von Nano-, Mikro- oder Mesoskala-Systemen und -Komponenten mit Abmessungen zwischen 1 μm und 1 mm. Aufgrund der Notwendigkeit der Genauigkeit eines Mikromaßstabes erfordern Mikromontagen eine zuverlässige Ausrüstung für die visuelle Abstimmung, wie Ionenstrahl-Bildgebungssysteme und stereoelektronische Mikroskope, sowie Präzisionswerkzeuge und -maschinen wie Mikrogreifer. Die Mikrosysteme werden anhand der Techniken Dotierung, dünne Schichten, Radierung, Bonden, Mikrolithografie und Polieren montiert.