L’assemblage de systèmes et de composants à l’échelle nano, micro et méso, de dimensions comprises entre 1 µm et 1 mm. En raison de l’exigence de précision sur une microéchelle, les microassemblages requièrent un équipement d’alignement visuel fiable, tels que les systèmes d’imagerie par faisceau d’ions et les microscopes électroniques stéréo, ainsi que des outils et machines de précision, telles que les micropinces. Les microsystèmes sont assemblés selon des techniques de dopage, de couches minces, de gravure, de scellement, de microlithographie et de polissage.