L’assiemaggio di sistemi e componenti in nanoscala, microscala o mesoscala, con dimensioni comprese tra 1 µm e 1 mm. A causa della necessità di precisione in microscala, i microassiemaggi richiedono apparecchiature di allineamento visivo affidabili, come sistemi per immagini a fascio ionico e stereomicroscopi elettronici, così come strumenti e macchine di precisione, come micropinze. I microsistemi sono assemblati con tecniche di drogaggio, pellicole sottili, incisione, bonding, microlitografia e lucidatura.