Miniaturisierte elektromechanische Systeme, die mittels Verfahren der Mikrofabrikation hergestellt werden. Mikroelektronische mechanische Systeme (MEMS) bestehen aus Mikrosensoren, Mikroaktoren, Mikrostrukturen und Mikroelektronik. MEMS können in einer Reihe von Geräten verwendet werden, wie Tintenstrahldruckköpfen, digitalen lichtbasierten Prozessoren, Kreiselinstrumenten in Smartphones, Beschleunigungssensoren für Airbags und Miniaturmikrofonen.