I sistemi microelettromeccanici (MEMS, Microelectromechanical Systems) sono sistemi elettromeccanici miniaturizzati realizzati utilizzando tecnologie di microfabbricazione. I MEMS sono costituiti da microsensori, microattuatori, microstrutture e microelettronica. I MEMS possono essere utilizzati in una gamma di apparecchi, quali le testine di stampanti a getto d’inchiostro, i processori luminosi digitali, i giroscopi per smartphone, gli accelerometri per airbag e i mini microfoni.