Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont des systèmes électromécaniques miniaturisés réalisés à l’aide de procédés de microfabrication. Les MEMS correspondent aux microcapteurs, aux microactionneurs, aux microstructures et à la micro-électronique. Les MEMS peuvent être utilisés dans toute une série d’appareils, tels que les têtes d’imprimantes à jet d’encre, les processeurs de lumière numérique, les gyroscope dans les smartphones, les accéléromètres pour les airbags et les microphones miniatures.